Acerde est une entreprise spécialisée dans l'élaboration et la mise en forme de matériaux de hautes qualités chimique et cristallographique. Elle dispose de moyens technologiques permettant de réaliser des films minces et des massifs à partir de précurseurs gazeux, principalement des chlorures et fluorures. Les hautes températures atteintes dans les réacteurs permettent de synthétiser des matériaux de haute densité, inaccessibles par frittage. Cette technique de dépôt appelée HTCVD (High Temperature Chemical Vapor Deposition) donne également accès à de nombreux matériaux necessitant de hautes de températures de synthèse tels que les nitrures et les carbures.
Réacteurs dédiés à la croissance de carbure de silicium, de nitrures de Bore et d'Aluminium.

Réacteur dédié au dépôt de films de tungstène et dérivés (carbures)
Les fours/réacteurs sont conçus et réalisés par les ingénieurs et techniciens de la société, ce qui permet d'avoir une grande flexibilité des installations en fonction des études et produits à réaliser: 3 réacteurs sont actuellement en fonctionnement et ont été optimisés pour la synthèse des matériaux suivants: W, WC, SiC, AlN et BN. Un nouveau réacteur, en développement, sera exclusivement dédié à la fabrication de substrats monocristallins de nitrure d'aluminium (AlN), nécessaires à la réalisation de diodes UV.
Acerde propose d'élaborer par HTCVD de nombreux matériaux (se référer au tableau ci-dessous) dont les propriétés sont reconnues en terme de bio-compatibilité, de résistance mécanique, d’inertie chimique et de conductivité thermique. En outre, les températures élevées offrent la possibilité d'élaborer des nouveaux composés, et par la maîtrise de la chimie et de la thermodynamique des précurseurs gazeux utilisés, les matériaux synthétisés sont de grande pureté et de haute qualité cristallographique.
La technique HTCVD est particulièrement adaptée aux exigences suivantes:
- Dépôt sur substrats 2D ou 3D
- Réalisation de pièces à géométries simples ou complexes
- Croissance de multicouches
- Contrôle de l’épaisseur du revêtement (de quelques µm au mm)
- Contôle de la taille et de l'orientation cristallographique des grains
- Haute pureté du matériau et dopage
(a)
(b)
Exemples d'échantillons 2D et 3D réalisés par HTCVD: (a) substrat de diamètre 2' (350µm d'épaisseur) et (b) tube de 5mm*40mm (250µm d'épaisseur) réalisés en SiC polycristallin .
Acerde offre également des prestations en caractérisation et analyse multi-échelles (RX, MEB, TEM, AFM, EBSD, ...), et développe des solutions originales adaptées à vos besoins (réalisation de barrières de diffusion, traitements thermiques à hautes températures et cryogénique, dépôts multi-couches, ...)
(a)
(b)
Images obtenues par microscopie électronique à balayage d'un dépôt SiC CVD multi couches (a) sur graphite et d'un substrat AlN polycristallin (b) réalisé par PVT.